各波長のレーザーを用いた屈折率の測定

プリズムカプラは、屈折率を測定するための装置です。403、633、825nmの各波長の屈折率を測定することにより、他の波長における屈折率を計算することが出来ます。

試験片形状に大きな制限はなく、フィルムや基板上の膜なども測定可能です。基板上の膜の測定では、屈折率だけでなく膜厚も短時間で測定することが可能です。