EPMA(전자현미분석기)

전계방출형의 EPMA（Electron Probe MicroAnalyser ）로 SEM（Scanning Electron Microscope）모드를 이용한 2차전자상, 반사전자상 관찰, 5ch WDS（Wavelength Dispersive X-ray Spectrometer）를 이용한 원소분석과 화학적 이동 측정, EDS（energy dispersive X-ray spectrometry）를 이용한 원소분석, 음극선 발광 측정, 이러한 것들을 조합한 조성 매핑이 가능합니다. 계면 상태의 분석과 워크의 고장분석에 이용하고 있습니다.

SEM(주사 전자 현미경)

개발 현장에서는 주로 EPMA를 사용한 분석을 하는 한편, 품질보증 등의 현장에서는 SEM를 활용한 조성 분석을 실시함으로써 수용 원료의 품질 확인 등을 실시하고 있습니다.

스퍼터링으로 최외곽 표면의 구성성분을 분석

시료의 최외곽 표면에 존재하는 분자 및 그 분포를 계측하는 장치.

조사 이온빔에 의한 스퍼터링 현상으로 추출된 시료 최외곽 표면의 구성성분은 질량에 맞춘 속도로 장치 내를 비행한 후에 검출기에 도입된다.

검출되기까지의 시간으로부터 구성성분은 질량에 맞춘 속도로 장치 내를 비행한 후에 검출기에 도입됩니다. 검출되기까지의 시간으로부터 구성성분의 분자정보(질량 스펙트럼), 또 이온빔을 주사함에 따라 매핑(분포)을 얻을 수 있습니다. 주로 고객의 디바이스 분석 등에 이용하고 있습니다.

표면 조성 분석

XPS（X-ray Photoelectron Spectroscopy）는 시료 표면에 X선을 조사할 때 발생하는 광전자 스펙트럼을 분석함으로써 시료 표면의 원소조성과 원소 결합 상태를 측정할 수 있습니다. 접착의 맨 윗 표면을 높은 정량성으로 분석 가능하므로 계면 상태의 조성 정보를 정확히 알 수 있습니다.